美國產(chǎn)Plasma Cleaning System
PE-50臺式實驗室等離子表面處理機
PE-50小型等離子表面處理設備是專門適用于大學研究機構(gòu)和工廠研發(fā)部門設計的小批量樣品處理裝置.作為有針對的設計，突出移動方便，高功能和性能，操作方便的使用特性。
設備特點:
1.體積小(寬356mmx高368mmx深457mm)，可放置在任何實驗臺上。
2.性能可靠“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無縫焊接，電極面積達到114mmx152mm，腔體與電極之間的間隙可到51mm，樣品放置空間大。另外，PE-50可以升級成PE-50XL，處理面積達到191mmx223mmx90mm。
3.配置靈活可配置不同的頻率及功率：50KHz/13.56MHz；控制系統(tǒng)可選擇了PLC微電腦控制和更精準的全數(shù)字電腦控制，以滿足不同用戶的要求。
4.操作簡便，一般操作人員在極短的時間內(nèi)就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。
5. 安全保障：在小型設備中，引入一鍵急停保護按鈕，可以快速終止實驗，以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。
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外部尺寸 |
356mmWx368mmDx457mmH |
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真空腔材質(zhì) |
耐用的焊接6061 T6鋁合金真空腔 |
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真空腔尺寸 |
（約140mm寬x179mm深x89mm高） |
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電極尺寸 |
114mm（寬）x152mm（深）間隙51mm |
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等離子發(fā)生器 |
功率max.400w（可調(diào)）
頻率：50KHz（可選配13.56MHz） |
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供氣 |
氣體流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥 |
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壓力測量 |
熱電偶真空計0-1Torr |
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控制器 |
PLC微電腦控制系統(tǒng)。鍵盤用戶界面，數(shù)字字母顯示器。設置方案工藝可以進行自動處理。 |
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安全保障 |
一鍵急停按鈕 |
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電源 |
220VAC，14A |
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PE-50升級版 |
處理面積191mmx223mmx90mm |
附件（可選件）
抽氣裝置：推薦型號：5CFM2級直驅(qū)真空油泵
•氧氣發(fā)生器
•附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器，0-25cc/min
•50KHz/400w可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器，13.56MHz/125W/300W可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器自動阻抗匹配網(wǎng)絡電源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
•接枝設備
高級配置：
•PC/筆記本電腦的控制系統(tǒng)：基于Windows操作系統(tǒng)，裝有等PlasmaEtch操作軟件的筆記本電腦，包括全自動系統(tǒng)操作，流程排序，多配方存儲，以及其他高級功能。
•質(zhì)量流量控制器：附加質(zhì)量流量控制器也可提供。
•氣流減壓裝置。
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- 表面等離子體處理對樹脂聚合物分子結(jié)構(gòu)的影響點擊下載
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