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PE25實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)

PE-25是專門針對(duì)于大學(xué)/科研機(jī)構(gòu)研發(fā)的小批量樣品處理裝置，具有移動(dòng)方便、多種配置功能、高性能及穩(wěn)定性、操作方便的特點(diǎn)。

美國(guó)產(chǎn)Plasma CleaningSystem
PE-25臺(tái)式實(shí)驗(yàn)室等離子表面處理機(jī)



PE-25小型等離子表面處理機(jī)是專門針對(duì)于大學(xué)，研究機(jī)構(gòu)和工廠研發(fā)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的小批量樣品處理裝置.作為有針對(duì)的設(shè)計(jì)，突出移動(dòng)方便，多種配置功能和高性能以及穩(wěn)定性，操作方便的使用特性。

設(shè)備特點(diǎn):


1.體積小，(寬356mm*高368mm*深457mm)，可放置在任何實(shí)驗(yàn)臺(tái)上。

2.性能可靠，“肚量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無(wú)縫焊接，電極面積達(dá)到89mm*170mm，腔體與電極之間的間隙可到53mm，樣品放置空間大。

3.配置靈活，可配置不同的頻率及功率：50KHz，13.56MHz；控制系統(tǒng)可選擇了PLC微電腦控制和更精準(zhǔn)的全數(shù)字電腦控制，以滿足不同用戶的要求。

4.操作簡(jiǎn)便，一般操作人員在極短的時(shí)間內(nèi)就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。

5. 安全保障：在小型設(shè)備中，引入一鍵急停保護(hù)按鈕，可以快速終止實(shí)驗(yàn)，以最小程度降低因操作失誤而造成對(duì)樣品的損害。






外部尺寸 356mm*368mm*457mm
真空腔材質(zhì) 6061T6鋁合金真空腔
真空腔尺寸 127mm*203mm
電極尺寸 89*178mm，間隙63mm
等離子發(fā)生器 功率max.400w（可調(diào)）
頻率：50KHz（可選配13.56MHz）
供氣 氣體流量控制器0-25cc/minw/精密針形閥
壓力測(cè)量 熱電偶真空計(jì)0-1Torr
控制器 PLC微電腦控制系統(tǒng)。
安全保障 一鍵急停按鈕
電源 220VAC，14A

附件（可選件）

抽氣裝置：推薦型號(hào)：5CFM 2級(jí)直驅(qū)真空油泵
•氧氣發(fā)生器
•附加第二氣體通道。附加第二氣體控制器，0-25cc/min
•50KHz/400w可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器，13.56MHz/125W/300W可調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)電源(HF)RFPowerSupply&AutoMatchingNetwork
•接枝設(shè)備

高級(jí)配置：

•PC/筆記本電腦的控制系統(tǒng)：基于Windows操作系統(tǒng)，裝有等Plasma Etch操作軟件的筆記本電腦，包括全自動(dòng)系統(tǒng)操作，流程排序，多配方存儲(chǔ)，以及其他高級(jí)功能。
•質(zhì)量流量控制器：附加質(zhì)量流量控制器也可提供。
•氣流減壓裝置。




樣品處理實(shí)例（碳化鎢基底上的DLC涂層去除）




 
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